東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業研究館
Fluctuation Free Facility (FFF),
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University
クリーンルーム整備共用化の推進と半導体製造技術・センサ技術の開発
(須川プロジェクト)

 
                                                [ Japanese | English ]                                                                                                                                                                                                            
 目次

  ■Top
  ■FFFについて
  ■メンバー
  ■地図
  ■お知らせ
  ■論文リスト
  ■研究紹介
  ■リンク集
  ■連絡先












                                                                    
                               
クリーンルーム整備共用化の推進と半導体製造技術・センサ技術の開発(須川プロジェクト)では、須川成利教授をリーダーにメンバー一丸となって日本の輝かしい未来を目標に日夜研究に励んでいます。
本ホームページでは、プロジェクトの研究活動の一端をご紹介できればと思います。
What's New(2023/9/11)
第35回マイクロエレクトロニクス研究会開催のお知らせ(2023/9/11更新)

開催日時:2023年11月11日(土) 13:00-16:45(予定)
開催場所:東北大学 
環境科学研究科総合研究棟 2階 大講義室
詳しくはこちらをご覧ください。


令和5年度UCT研究会春期技術講習会を開催致しました(2023/4/25更新)

3年ぶりの対面での開催となりました。ご参加頂きました皆様に御礼申し上げます。