東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業研究館
Fluctuation Free Facility (FFF),
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University
クリーンルーム整備共用化の推進と半導体製造技術・センサ技術の開発
(須川プロジェクト)

 
                                                [ Japanese | English ]                                                                                                                                                                                                            
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クリーンルーム整備共用化の推進と半導体製造技術・センサ技術の開発(須川プロジェクト)では、須川成利教授をリーダーにメンバー一丸となって日本の輝かしい未来を目標に日夜研究に励んでいます。
本ホームページでは、プロジェクトの研究活動の一端をご紹介できればと思います。
What's New(2024/4/16)

令和6年度UCT研究会春期技術講習会を開催いたします(2024/4/16更新)
【開催日時】 2024年4月25日(木)9:00-17:20
【開催場所】 東北大学 未来情報産業研究館5階 大会議室
【プログラム】
 9:00-10:00   白井教授   半導体製造に関連するインフラユーティリティ技術
10:10-12:10 諏訪准教授 半導体製造プロセス技術
13:00-14:00 諏訪准教授 半導体製造における表面計測技術
14:10-15:40 黒田教授   半導体デバイス技術
15:50-17:20 須川教授   先端2nmGAAのデバイス構造と製造プロセスの概要
詳しくはこちらをご確認ください。

SEMICON Japanに出展致しました(2023/12/19更新)
お立ち寄り頂きました皆様に御礼申し上げます。

第35回マイクロエレクトロニクス研究会開催致しました(2023/11/13更新)

今年は青葉山にて研究会を開催致しました。
ご協力頂きました講師の皆様、ご参加頂いた皆様に御礼申し上げます。