東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業研究館
Fluctuation Free Facility (FFF),
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University
 

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研究紹介
クリーンルーム整備共用化の推進と半導体製造技術・センサ技術の開発(須川プロジェクト)では、 しなやかな知的機能を有する ULSI の実現を目標として、 シリコンテクノロジーに関するすべてを網羅した研究が行われています。現在では、半導体製造装置の開発、プロセス技術の研究、超高速デバイスの開発、さらには知的な情報処理を行う電子回路の研究まで、 シリコン半導体に関わる幅広い研究が行われています。その内容は非常に多岐にわたり、研究は多くのグループに分かれて行われており、シリコンテクノロジー全体を見まわすことが出来るという点で珍しい、 そして魅力的な研究室です。ここではその概要を示します。
なお細目の左側の数字をクリックすると、研究内容を紹介するパネルが表示されます。(PDFファイル)
これらのパネルは、2022年12月に東京ビッグサイトで行なわれた半導体製造に関する展示会「セミコンジャパン2022」にて会場に掲示されたパネルを元にしています。ただし、印刷・変更はできないようにセキュリティを掛けていますので、 コンピュータスクリーン上のみでの閲覧しかできません。御了承下さい。

1 東北大学・未来科学技術共同研究センター・未来情報産業研究館
2 東北大学半導体テクノロジー共創体_半導体製造プロセス・部素材・イメージセンサ開発実証拠点1
3 東北大学半導体テクノロジー共創体_半導体製造プロセス・部素材・イメージセンサ開発実証拠点2
4 IoT・センサネットワーク社会を支える世界最高性能の CMOS イメージセンサの開発実用化
5 高速・高SNR撮像素子による流体濃度分布その場計測デバイスの開発
6 高濃度オゾン水によるレジスト除去技術
7 ダメージフリー回転マグネットスパッタ装置
8 Cr2O3 / Al2O3不働態処理技術
9 ゆらぎや振動のない研究施設(1)
10 未来情報産業研究館クリーンルーム概要