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令和5年度 春期講習会(未来情報産業研究館)
4/25 9:00〜10:30 黒田
(東北大学
教授)
半導体デバイス技術
4/25 10:40〜12:10 後藤
(東北大学
特任教授)
半導体製造用プラズマ技術
4/25 13:00〜15:00  諏訪
(東北大学
特任准教授)
半導体製造プロセス技術
4/25  15:10〜
17:10
須川
(東北大学
教授)
高性能イメージセンシング技術とプロセスモニタリングへの応用展開
令和5年度 冬期講習会(未来情報産業研究館)
12/26 9:00〜10:30 上田
(大成建設)
クリーンルーム技術の最新動向
クリーンルームの基本的考え方から実際に使用されている技術、省エネ対策の事例、BCPへの取り組み等について
12/26 10:40〜
12:10
白井
(東北大学)
超高純度ガス供給技術
ガス供給技術の基本的考え方、ステンレスの表面研磨、不動態処理技術、流量制御器等のガス部品について
12/26 13:00〜
14:00
若山
(大成建設)
固体表面への有機物吸着・汚染(大気圧下)
クリーンルーム等の大気圧下におけるシリコン表面への有機物汚染とその制御方法について
12/26 14:10〜
15:10
白井
(東北大学)
固体表面への水分汚染及び減圧下での有機物汚染
固体表面への水分汚染及び製造装置内等の減圧下における有機物の吸着・汚染およびその対応策について
12/26 15:20〜16:50 横井
(栗田工業)
超純水製造技術
超純水製造の基本から機能水(水素水、オゾン水等)の効果、使用済み薬液の回収技術まで
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